文献
J-GLOBAL ID：200902088805331190 整理番号：86A0552246
圧電素子を用いたXYθテーブル
Piezoelectricdriven XYθ table.
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著者 (2件)：
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資料名：
精密工学会誌 (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
精密工学会誌 について
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巻：
52
号：
8
ページ：
1443-1446
発行年：
1986年08月
JST資料番号：
F0268A
ISSN：
0912-0289
資料種別：
逐次刊行物 (A)
記事区分：
原著論文
発行国：
日本 (JPN)
言語：
日本語 (JA)
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