研究者
J-GLOBAL ID：200901039256282943   更新日: 2024年01月17日

東條 徹

トウジョウ トオル | Tojo Toru
研究分野 (7件)： 眼科学 ,  計測工学 ,  ロボティクス、知能機械システム ,  機械力学、メカトロニクス ,  機械要素、トライボロジー ,  設計工学 ,  材料力学、機械材料
研究キーワード (4件)： 光学検査技術 ,  電子ビーム応用検査技術 ,  マスク欠陥検査技術 ,  電子ビーム描画技術
競争的資金等の研究課題 (3件)：
  • 2005 - 2008 高分解能眼底顕微鏡
  • 2001 - 2004 次世代マスク欠陥検査装置技術
  • 1996 - 2004 電子ビーム描画装置技術
MISC (27件)：
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特許 (25件)：
  • パターン欠陥検査装置
  • パターン欠陥検査方法およびパターン欠陥検査装置
  • パターン欠陥検査装置
  • 荷電ビーム描画装置および方法
  • パターン評価装置およびパターン評価方法
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書籍 (1件)：
  • トライボロジ(PRINCIPLE OF TRIBOLOGY, J.ホーリング著)、松永正久 監訳(松本有史、佐々木貞夫、河内康伸、東條徹、杉原和佳)、
    近代科学社 1984
学位 (1件)：
  • 半導体製造装置における超精密位置決め技術に関する研究 (東京大学)
経歴 (1件)：
  • (株)トプコン 総務 特別嘱託
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