MASSOUD H Z について
Stanford Univ., California について
PLUMMER J D について
Stanford Univ., California について
IRENE E A について
IBM, New York について
Journal of the Electrochemical Society について
酸化 について
ドライ酸素 について
酸化物の結晶成長 について
固体デバイス材料 について
酸素 について
シリコン について
熱酸化 について
成長速度 について
実験結果 について