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J-GLOBAL ID：200902093713091030   整理番号：89A0209102

熱化学反応を利用した膜状ダイヤモンド研磨機の試作および性能

On the performance of diamond film polishing apparatus developed.

著者 (3件)： YANG C-F (東京工大 大学院) ,  戸倉和 (東京工大 工) ,  吉川昌範 (東京工大 工)
資料名： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
巻： 55  号： 1  ページ： 77-80  発行年： 1989年01月 
JST資料番号： F0268A  ISSN： 0912-0289  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 合成された膜状ダイヤモンドは表面に凹凸のある多結晶体なので表...

シソーラス用語： ダイヤモンド工具 ,...
準シソーラス用語： ダイヤモンド薄膜

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分類 (1件)： 研削  (QC03000R)

引用文献 (7件)：

• 1) 小堺 隆, 戸倉 和, 吉川昌範 : 熱化学反応を応用したダイヤモンド加工の基礎研究, 昭和61年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, 第1分冊 (1986) 333.
• 2) A. P. Grigoriev & V. V. Kovalsky Working of Diamond with Metal. INDIAQUA. 39. 3. (1984) 47.
• 3) 佐藤 伸, 中田和夫, 志田正二 : 金属表面上における水素原子再結合反応, 日本化学雑誌, 76, 11, (1955) 1308.
• 4) 早坂〓吉 : 遊星歯車機構と伝達力学, 日刊工業新聞社 (1963) 12.
• 5) T. Evans & D. H. Sauter : Etching of Diamond Surfaces with Gases, Phil. Hag., 6. (1961) 429.

タイトルに関連する用語 (4件)： 熱化学反応 ,  ダイヤモンド ,  研磨機 ,  試作