センサーとアクチュエータ用集積化可動超小型機構構造

FAN L-S; TAI Y-C; MULLER R S

文献

J-GLOBAL ID：200902094184445120 整理番号：88A0407635

センサーとアクチュエータ用集積化可動超小型機構構造

Integrated movable micromechanical structures for sensors and actuators.

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資料名：
巻： 35 号： 6 ページ： 724-730 発行年： 1988年06月
JST資料番号： C0222A ISSN： 0018-9383 CODEN： IETDAI 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

ミクロン寸法の可動ピン接合,ギア,スプリング,クランクとスラ...

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固体デバイス製造技術一般 , その他の制御機器 , 幾何学的・力学的量の計測一般

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