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J-GLOBAL ID:200902095107410107   整理番号:88A0101276

(001)Si基板上へのGaAs層の形成

Growth of GaAs layers on (001) Si substrates.
著者 (6件):
資料名:
ページ: 143-146  発行年: 1987年 
JST資料番号: K19870562  ISBN: 4-930813-21-2  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 短報  発行国: 日本 (JPN)  言語: 英語 (EN)
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滑らかな,鏡面の表面を持つGaAs層を2工程でのバッファ層の...
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固体デバイス製造技術一般 
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