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J-GLOBAL ID:200902095436634911   整理番号:91A0038964

ねじ駆動による超精密位置決め (第1報) すべりねじとボールねじによる基礎的研究

Ultra-precision positioning using lead screw drive. (1st Report). Fundamental study using a sliding screw or ball screw.
著者 (4件):
資料名:
巻: 56  号: 11  ページ: 2033-2038  発行年: 1990年11月 
JST資料番号: F0268A  ISSN: 0912-0289  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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分類 (1件):
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工作機械要素,ジグ,チャック 
引用文献 (7件):
  • 1) D. S. Alles etal. : The Step and Repeat Camera, Bell Tech. J., Nov. (1970).
  • 2) 内田憲男ほか : 自動補償機構を備えた縦形の超精密XYステージ, 精密工学会誌, 54, 5 (1988) 884.
  • 3) 森山茂夫ほか : 圧電素子アクチュエータ微動機構を備えた超精密XY移動台, 精密機械, 50, 4 (1984) 718.
  • 4) 日本潤滑学会編 : 潤滑ハンドブック, 養賢堂, (1970) 681.
  • 5) 小渕信夫, 大塚二郎 : ボールねじの摩擦トルクに関する研究-ダブルナット方式の特性, 精密工学会誌, 52, 3 (1986) 528.
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