文献

J-GLOBAL ID：200902095998770745   整理番号：90A0085611

ラジオ波放電プラズマを用いたガラス状カーボンの表面改質

Surface modification of glassy carbon by radio-frequency discharge plasma.

著者 (4件)： 大手丈夫 (群馬工高専) ,  加藤正明 (群馬工高専) ,  大谷杉郎 (群馬大 工) ,  小島昭 (群馬工高専)
資料名： 炭素
巻： 1989  号： 140  ページ： 268-274  発行年： 1989年12月 
JST資料番号： G0633A  ISSN： 0371-5345  CODEN： TASOA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 13.56MHzのプラズマ放電によりガラス状炭素の表面を改質...

シソーラス用語： ガラス状炭素 ,...

   続きはJDreamIII（有料）にて  {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=90A0085611&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=G0633A") }}

分類 (1件)： 炭素とその化合物  (YB02060D)

引用文献 (9件)：

• 1) 電子材料編集部編 “超LSI時代のプラズマ化学”, 工業調査会,(1983) p.65
• 2) 長田義仁編著, “プラズマ重合”, 東京化学同人,(1986) p.236
• 3) 井原辰彦, 伊藤征司郎, 桑原利秀, 木卜光夫, 日化1984, 1575
• 4) 小島昭, 大谷杉郎, 堤輝夫, 古川茂, 大手丈夫, 炭素1987 [No.131] 161
• 5) 小島昭, 大谷杉郎, 中村恒一, 古川茂, 大手丈夫, 栗原英也, 炭素1989 [No.136] 9

タイトルに関連する用語 (5件)： ラジオ波 ,  放電プラズマ ,  ガラス ,  カーボン ,  表面改質