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J-GLOBAL ID:200902096607986419   整理番号:93A0143653

オンウエハ析出化学固定拡散膜をもつけい素ベース塩素センサ I センサの基本概念

Silicon-based chlorine sensor with on-wafer deposited chemically anchored diffusion membrane. Part I. Basic sensor concept.
著者 (6件):
資料名:
巻: 269  号:ページ: 75-82  発行年: 1992年11月02日 
JST資料番号: A0394A  ISSN: 0003-2670  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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ポリメタクリル酸ヒドロキシエチルのヒドロゲル膜で覆われた3電...
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