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J-GLOBAL ID:200902097133337704   整理番号:83A0031957

シリコン中のスワール欠陥形成の機構

The mechanism of swirl defects formation in silicon.
著者 (1件):
資料名:
巻: 59  号:ページ: 625-643  発行年: 1982年10月 
JST資料番号: B0942A  ISSN: 0022-0248  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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分類 (2件):
分類
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金属の格子欠陥  ,  半導体の結晶成長 
タイトルに関連する用語 (3件):
タイトルに関連する用語
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