窒素及び(または)ほう素含有炭素膜の熱分解析出

MAYA L; HARRIS L A

文献

J-GLOBAL ID：200902097635796389 整理番号：90A0718330

窒素及び(または)ほう素含有炭素膜の熱分解析出

Pyrolytic deposition of carbon films containing nitrogen and/or boron.

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巻： 73 号： 7 ページ： 1912-1916 発行年： 1990年07月
JST資料番号： C0253A ISSN： 0002-7820 CODEN： JACTAW 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

標記について,脂肪族縮合環ボラジン,ベンゾジアザボロリン,ジ...

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その他の無機化合物の薄膜

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