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J-GLOBAL ID：200902097808809996   整理番号：91A0776301

Progress in DUV Resins.

著者 (8件)： PRZYBILLA K (Hoechst AG Central Research I, Frankfurt/M., DEU) ,  ROESCHERT H (Hoechst AG IC Chemicals Division, Wiesbaden, DEU) ,  SPIESS W (Hoechst AG IC Chemicals Division, Wiesbaden, DEU) ,  ECKES C (Hoechst AG Central Research I, Frankfurt/M., DEU) ,  CHATTERJEE S (Hoechst Celanese Corp., N.J., USA) ,  KHANNA D (Hoechst Celanese Corp., R.I., USA) ,  PAWLOWSKI G (Hoechst AG Central Research I, Frankfurt/M., DEU) ,  DAMMEL R (Hoechst AG Central Research I, Frankfurt/M., DEU)
資料名： Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)
巻： 1466  ページ： 174-187  発行年： 1991年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

タイトルに関連する用語 (1件)： PROGRESS