文献

J-GLOBAL ID：200902100231164835   整理番号：95A0449895

電気化学効果を利用するサブミクロン製造技術と一方向SAWトランスデューサへの応用

Submicron fabrication techniques using electro-chemical effects and application to unidirectional SAW transducers.

著者 (4件)： ODAGAWA H (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  TANAKA N (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  MEGURO T (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  YAMANOUCHI K (Tohoku Univ., Sendai, JPN)
資料名： Proceedings. IEEE Ultrasonics Symposium  (Proceedings. IEEE Ultrasonics Symposium)
巻： 1994  号： Vol 1  ページ： 437-440  発行年： 1994年 
JST資料番号： A0437C  ISSN： 1051-0117  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： GHz領域のSAW素子作成のための,電気化学効果を用いた選択...

シソーラス用語： 弾性表面波素子 ,...

   続きはJDreamIII（有料）にて  {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=95A0449895&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=A0437C") }}

分類 (2件)： 音響変換器,その他の機器  (BB03060N) ,  弾性表面波デバイス  (NC03120T)

タイトルに関連する用語 (5件)： 電気化学 ,  サブ ,  SAW ,  トランスデューサ ,  応用