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J-GLOBAL ID：200902100833066087   整理番号：01A0214535

スプレー熱分解法による酸化スズ薄膜の低温形成

Low Temperature Formation of Tin(IV) Oxide Thin Films by a Spray Prolysis Deposition.

著者 (4件)： 広嶋賢悟 (静岡大 工) ,  奥谷昌之 (静岡大 工) ,  藤原武 (静岡大 工) ,  金子正治 (静岡大 工)
資料名： 日本化学会講演予稿集  (日本化学会春季年会講演予稿集)
巻： 78th  号： 1  ページ： 70  発行年： 2000年03月15日 
JST資料番号： S0493A  ISSN： 0285-7626  資料種別： 会議録 (C)
発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 大気中で薄膜が作成可能なスプレー熱分解法により,テトラブチル...

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タイトルに関連する用語 (4件)： スプレー ,  酸化スズ ,  薄膜 ,  低温形成