フォトニックバンドギャップ結晶の作製

CHENG C C; SCHERER A

文献

J-GLOBAL ID：200902101017333103 整理番号：96A0169212

フォトニックバンドギャップ結晶の作製

Fabrication of photonic band-gap crystals.

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資料名：
巻： 13 号： 6 ページ： 2696-2700 発行年： 1995年11月
JST資料番号： E0974A ISSN： 1071-1023 CODEN： JVTBD9 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

電子ビームリソグラフィーとの一連のドライエッチングを組合わせ...

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固体デバイス製造技術一般

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