真空紫外希ガスエキシマ光源

WIESER J; MURNICK D E; ULRICH A; HUGGINS H A; LIDDLE A; BROWN W L

文献

J-GLOBAL ID：200902101553127826 整理番号：97A0385137

真空紫外希ガスエキシマ光源

Vacuum ultraviolet rare gas excimer light source.

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資料名：
巻： 68 号： 3 ページ： 1360-1364 発行年： 1997年03月
JST資料番号： D0517A ISSN： 0034-6748 CODEN： RSINAK 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

直流20keVの電子ビームで1.7barまでの圧力の純粋希ガ...

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光源

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