金属接触のrf予備洗浄におけるアスペクト比依存プラズマ誘起帯電損傷

KIM J; SHIN K S; PARK W J; KIM Y J; KANG C J; AHN T H; MOON J T

文献

J-GLOBAL ID：200902101633638880 整理番号：01A0793120

金属接触のrf予備洗浄におけるアスペクト比依存プラズマ誘起帯電損傷

Aspect ratio dependent plasma-induced charging damage in rf precleaning of a metal contact.

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資料名：
巻： 19 号： 4,Pt.2 ページ： 1835-1839 発行年： 2001年07月
JST資料番号： C0789B ISSN： 0734-2101 CODEN： JVTAD6 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

金属接触のrf予備洗浄中のプラズマ誘起帯電損傷のアスペクト比...

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プラズマ応用 , 固体デバイス製造技術一般

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