C<sub>2</sub>F<sub>4</sub>における電子輸送特性と衝突断面積

YOSHIDA K; GOTO S; TAGASHIRA H; WINSTEAD C; MCKOY B V; MORGAN W L

文献

J-GLOBAL ID：200902101872501560 整理番号：02A0323554

C₂F₄における電子輸送特性と衝突断面積

Electron transport properties and collision cross sections in C₂F₄.

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資料名：
巻： 91 号： 5 ページ： 2637-2647 発行年： 2002年03月01日
JST資料番号： C0266A ISSN： 0021-8979 CODEN： JAPIAU 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

C₂F₄プラズマ...

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プラズマ診断 , プラズマ一般

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C2F4における電子輸送特性と衝突断面積

C₂F₄における電子輸送特性と衝突断面積