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J-GLOBAL ID：200902101884932214   整理番号：98A0925853

シリコンスライダ使用の表面音響波リニアモータ

Surface Acoustic Wave Linear Motor Using Silicon Slider.

著者 (4件)： OSAKABE N (Univ. Tokyo, Tokyo, JPN) ,  KUROSAWA M (Univ. Tokyo, Tokyo, JPN) ,  HIGUCHI T (Univ. Tokyo, Tokyo, JPN) ,  SHINOURA O (TDK Co, Chiba, JPN)
資料名： Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems  (Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems)
巻： 11th  ページ： 390-395  発行年： 1998年 
JST資料番号： W0377A  ISSN： 1084-6999  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： シリコン製スライダを使用し,従来の多点接触スライダ方式に比べ...

シソーラス用語： *超音波モータ ,...

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分類 (1件)： その他の制御機器  (IC02040U)

タイトルに関連する用語 (4件)： シリコン ,  スライダ ,  表面音響波 ,  リニアモータ