文献
J-GLOBAL ID：200902102318418810   整理番号：00A0852855

イオンビーム支援蒸着により作製したSiOxFy薄膜の不均一な屈折率

Inhomogeneous refractive index of SiOxFy thin films prepared by ion beam assisted deposition.
著者 (2件)：
LEE J H

LEE J H について

(Inha Univ., Inchon, KOR)

Inha Univ., Inchon, KOR について

, 
HWANGBO C K

HWANGBO C K について

(Inha Univ., Inchon, KOR)

Inha Univ., Inchon, KOR について


資料名：
Surface & Coatings Technology  (Surface & Coatings Technology)

Surface & Coatings Technology について


巻： 128/129  ページ： 280-285  発行年： 2000年06月 
JST資料番号： D0205C  ISSN： 0257-8972  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
文献の概要を数百字程度の日本語でまとめたものです。
部分表示の続きは、JDreamⅢ(有料)でご覧頂けます。
J-GLOBALでは書誌(タイトル、著者名等)登載から半年以上経過後に表示されますが、医療系文献の場合はMyJ-GLOBALでのログインが必要です。
SiO2薄膜より低い屈折率を示す標記の...
シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
文献のテーマを表すキーワードです。
部分表示の続きはJDreamⅢ（有料）でご覧いただけます。
J-GLOBALでは書誌(タイトル、著者名等)登載から半年以上経過後に表示されますが、医療系文献の場合はMyJ-GLOBALでのログインが必要です。
*ケイ素化合物

ケイ素化合物 について

,...
準シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
文献のテーマを表すキーワードです。
部分表示の続きはJDreamⅢ（有料）でご覧いただけます。
J-GLOBALでは書誌(タイトル、著者名等)登載から半年以上経過後に表示されますが、医療系文献の場合はMyJ-GLOBALでのログインが必要です。
間隙率

間隙率 について


   続きはJDreamIII（有料）にて  {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=00A0852855&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=D0205C") }}
分類 (2件)：
分類
JSTが定めた文献の分類名称とコードです
酸化物薄膜 
(BK14050P)

酸化物薄膜 について

,  光物性一般 
(BM08010A)

光物性一般 について

物質索引 (1件)：
物質索引
文献のテーマを表す化学物質のキーワードです
テトラフルオロメタン

テトラフルオロメタン について

タイトルに関連する用語 (4件)：
タイトルに関連する用語
J-GLOBALで独自に切り出した文献タイトルの用語をもとにしたキーワードです
イオンビーム支援蒸着

イオンビーム支援蒸着 について

, 
作製

作製 について

, 
薄膜

薄膜 について

, 
屈折率

屈折率 について


前のページに戻る

TOP

BOTTOM