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J-GLOBAL ID：200902102412681230   整理番号：99A0609568

NO₂およびNH₃雰囲気中における無ドープ-ダイヤモンド膜上の表面導電層のHall効果の測定

Hall Effect Measurements of Surface Conductive Layer on Undoped Diamond Films in NO₂ and NH₃ Atmospheres.

著者 (7件)： GI R S (Tokai Univ., Kanagawa, JPN) ,  TASHIRO K (NITTAN Co., Ltd., Tokyo, JPN) ,  TANAKA S (NITTAN Co., Ltd., Tokyo, JPN) ,  FUJISAWA T (NITTAN Co., Ltd., Tokyo, JPN) ,  KIMURA H (Tokai Univ., Kanagawa, JPN) ,  KUROSU T (Tokai Univ., Kanagawa, JPN) ,  IIDA M (Kyushu Tokai Univ., Kumamoto, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻： 38  号： 6A  ページ： 3492-3496  発行年： 1999年06月15日 
JST資料番号： G0520B  ISSN： 0021-4922  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ホットフィラメントCVD成長ダイヤモンド膜のHall測定を行...

シソーラス用語： 二酸化窒素 ,...

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分類 (1件)： 半導体結晶の電気伝導  (BM03043X)

引用文献 (10件)：

• (1) M. I. Landstrass and K. V. Ravi: Appl. Phys. Lett. 55 (1989) 975.
• (2) S. Albin and L. Watkins: Appl. Phys. Lett. 56 (1990) 1454.
• (3) S. A. Grot, G. Sh. Gildenblat, C. W. Hatfield, C. R. Wronski, A. R. Badzian, T. Badzian and R. Messier: IEEE Electron Device Lett. 11 (1990) 100.
• (4) T. Maki, S. Shikama, M. Komori, Y. Sakaguchi, K. Sakuta and T. Kobayashi: Jpn. J. Appl. Phys. 31 (1992) L1446.
• (5) H. Nakahata, T. Imai and N. Fujimori: Proc. 2nd Int. Symp. Diamond Material (1991) p.487.

タイトルに関連する用語 (7件)： NO2 ,  NH3 ,  雰囲気 ,  ドープ ,  ダイヤモンド膜 ,  導電層 ,  Hall効果