原子層成長の表面化学

GEORGE S M; OTT A W; KLAUS J W

文献

J-GLOBAL ID：200902102850114276 整理番号：96A0780095

原子層成長の表面化学

Surface Chemistry for Atomic Layer Growth.

出版者サイト複写サービスで全文入手 {{ this.onShowCLink("http://jdream3.com/copy/?sid=JGLOBAL&noSystem=1&documentNoArray=96A0780095&COPY=1") }}
高度な検索・分析はJDreamⅢで {{ this.onShowJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=96A0780095&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=C0334A") }}

著者 (3件)： , ,
資料名：
巻： 100 号： 31 ページ： 13121-13131 発行年： 1996年08月01日
JST資料番号： C0334A ISSN： 0022-3654 CODEN： JPCHAX 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：文献レビュー発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

分子前駆体からの表面原子層成長につき総説した。原子層エピタキ...

,...

続きはJDreamIII（有料）にて {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=96A0780095&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=C0334A") }}

薄膜成長技術・装置

, ,

前のページに戻る