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J-GLOBAL ID：200902103570159335   整理番号：99A0245529

ロジックデバイスへの埋込みメモリのためのリソグラフィーCAD技術

Lithography Computer Aided Design Technology for Embedded Memory in Logic.

著者 (4件)： OHNUMA H (Sony Corp., Kanagawa, JPN) ,  TSUDAKA K (Sony Corp., Kanagawa, JPN) ,  KAWAHIRA H (Sony Corp., Kanagawa, JPN) ,  NOZAWA S (Sony Corp., Kanagawa, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻： 37  号： 12B  ページ： 6686-6688  発行年： 1998年12月 
JST資料番号： G0520B  ISSN： 0021-4922  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： シミュレーションに基づく方法による繰返しメモリセルと,予め決...

シソーラス用語： *フォトリソグラフィー ,...
準シソーラス用語： 光学的近接効果補正 ,...

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分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  CAD,CAM  (JE10000A)

引用文献 (18件)：

• 1) J. P. Stirniman and M. L. Rieger: Proc. SPIE 2197 (1994) 294.
• 2) N. Cobb and A. Zakhor: Proc. SPIE 2440 (1994) 252.
• 3) O. W. Otto, J. G. Garofalo, K. K. Low, C. M. Yuan, R. C. Henderson, C. Pierrat, R. L. Kostelak, S. Vaidya and P. K. Vasudev: Proc. SPIE 2197 (1994) 278.
• 4) E. Kawamura, T. Haruki, Y. Manabe and I. Hanyu: Jpn. J. Appl. Phys. 34 (1995) 6547
• 5) S. Miyama, K Yamamoto and K. Koyama: Jpn. J. Appl. Phys. 35 (1996) 6370

タイトルに関連する用語 (4件)： ロジックデバイス ,  埋込みメモリ ,  リソグラフィー ,  CAD