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J-GLOBAL ID：200902113099996006   整理番号：97A0262609

ルールに基づく方法とシミュレーションに基づく方法を組合わせた大面積光学近接補正

Large-Area Optical Proximity Correction with a Combination of Rule-Based and Simulation-Based Methods.

著者 (3件)： MIYAMA S (Toshiba Corp., Kawasaki, JPN) ,  YAMAMOTO K (Toshiba Corp., Kawasaki, JPN) ,  KOYAMA K (Toshiba Corp., Kawasaki, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻： 35  号： 12B  ページ： 6370-6373  発行年： 1996年12月 
JST資料番号： G0520B  ISSN： 0021-4922  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 標記組合わせ法を利用して,実用的な1次元光学近接補正システム...

シソーラス用語： 近接効果 ,...

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分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

引用文献 (5件)：

• OTTO, O. W. Proc.SPIE. 1994, 2197, 278
• SPENCE, C. A. Proc.SPIE. 1994, 2197, 302
• RIEGER, M. L. Proc.SPIE. 1994, 2197, 371
• LIEBMANN, L. W. Proc.SPIE. 1994, 2322, 229
• MIMOTOGI, S. Dig.Pap.MicroProcess'95. 1995, 38

タイトルに関連する用語 (4件)： ルール ,  シミュレーション ,  大面積 ,  光学