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J-GLOBAL ID:200902103857304999   整理番号:97A0194364

ナノインプリントリソグラフィー

Nanoimprint lithography.
著者 (3件):
資料名:
巻: 14  号:ページ: 4129-4133  発行年: 1996年11月 
JST資料番号: E0974A  ISSN: 1071-1023  CODEN: JVTBD9  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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分類 (1件):
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固体デバイス製造技術一般 
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