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J-GLOBAL ID：200902103857304999   整理番号：97A0194364

ナノインプリントリソグラフィー

Nanoimprint lithography.
著者 (3件)：
CHOU S Y

CHOU S Y について

(Univ. Minnesota, Minnesota)

Univ. Minnesota, Minnesota について

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KRAUSS P R

KRAUSS P R について

(Univ. Minnesota, Minnesota)

Univ. Minnesota, Minnesota について

, 
RENSTROM P J

RENSTROM P J について

(Univ. Minnesota, Minnesota)

Univ. Minnesota, Minnesota について


資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures  (Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures)

Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures について


巻： 14  号： 6  ページ： 4129-4133  発行年： 1996年11月 
JST資料番号： E0974A  ISSN： 1071-1023  CODEN： JVTBD9  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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最近提案された高スループットで低コストの標記リソグラフィーに...
シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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リソグラフィー

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準シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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インプリントリソグラフィー

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分類 (1件)：
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固体デバイス製造技術一般 
(NC03030V)

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タイトルに関連する用語 (1件)：
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ナノインプリントリソグラフィー

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