文献
J-GLOBAL ID:200902104140409032
整理番号:93A0308303
He-H2のグロー放電プラズマ中の炭素の化学スパッタリング率の発光分光法による評価
Estimation of Chemical Sputtering Rates of Carbon in He-H2 Glow Discharge Plasmas by Optical Emission Spectroscopy.
-
出版者サイト
複写サービスで全文入手
{{ this.onShowCLink("http://jdream3.com/copy/?sid=JGLOBAL&noSystem=1&documentNoArray=93A0308303©=1") }}
-
高度な検索・分析はJDreamⅢで
{{ this.onShowJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=93A0308303&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=G0520B") }}
著者 (2件):
,
資料名:
巻:
32
号:
2
ページ:
916-920
発行年:
1993年02月
JST資料番号:
G0520B
ISSN:
0021-4922
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
日本 (JPN)
言語:
英語 (EN)
抄録/ポイント:
抄録/ポイント
文献の概要を数百字程度の日本語でまとめたものです。
部分表示の続きは、JDreamⅢ(有料)でご覧頂けます。
J-GLOBALでは書誌(タイトル、著者名等)登載から半年以上経過後に表示されますが、医療系文献の場合はMyJ-GLOBALでのログインが必要です。
He-H
2混合気体中のグロー放電プラズ...
シソーラス用語:
シソーラス用語/準シソーラス用語
文献のテーマを表すキーワードです。
部分表示の続きはJDreamⅢ(有料)でご覧いただけます。
J-GLOBALでは書誌(タイトル、著者名等)登載から半年以上経過後に表示されますが、医療系文献の場合はMyJ-GLOBALでのログインが必要です。
,...
続きはJDreamIII(有料)にて
{{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=93A0308303&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=G0520B") }}
分類 (2件):
分類
JSTが定めた文献の分類名称とコードです
プラズマ応用
, スパッタリング
タイトルに関連する用語 (8件):
タイトルに関連する用語
J-GLOBALで独自に切り出した文献タイトルの用語をもとにしたキーワードです
,
,
,
,
,
,
,
前のページに戻る