文献
J-GLOBAL ID：200902104515945727
整理番号：02A0962123
オフアクシオスターゲットスパッタリングにより堆積したTiO2膜の構造及び光学特性に及ぼすプラズマ曝露の効果
Effects of plasma exposure on structural and optical properties of TiO2 films deposited by off-axis target sputtering.
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著者 (3件)：
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資料名：
巻：
20
号：
6
ページ：
1916-1920
発行年：
2002年11月
JST資料番号：
C0789B
ISSN：
0734-2101
CODEN：
JVTAD6
資料種別：
逐次刊行物 (A)
記事区分：
原著論文
発行国：
アメリカ合衆国 (USA)
言語：
英語 (EN)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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厚さ800~2300nmのTiO
2膜を...
シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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分類 (2件)：
分類
JSTが定めた文献の分類名称とコードです
酸化物薄膜
, 光物性一般
タイトルに関連する用語 (4件)：
タイトルに関連する用語
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