電子サイクロトロン共鳴マイクロ波プラズマを使用したスパッタ装置で作製したCo-Cr薄膜

YAMAMOTO S; SATO K; KURISU H; MATSUURA M

文献

J-GLOBAL ID：200902104640151970 整理番号：96A0511865

電子サイクロトロン共鳴マイクロ波プラズマを使用したスパッタ装置で作製したCo-Cr薄膜

Co-Cr films prepared by sputtering using electron cyclotron resonance microwave plasma.

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資料名：
巻： 79 号： 8 Pt 2A ページ： 4896-4898 発行年： 1996年04月15日
JST資料番号： C0266A ISSN： 0021-8979 CODEN： JAPIAU 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：短報発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

ECRスパッタ成膜装置を用いてCo-Cr垂直磁気記録媒体を作...

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金属結晶の磁性 , 電子・磁気・光学記録

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