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J-GLOBAL ID:200902104812977883   整理番号:99A0421717

粘弾性ポリシャによるポリシング過程のシミュレーション (第3報) 揺動制御による加工量分布の均一化

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資料名:
巻: 1999  号: 春季  ページ: 692  発行年: 1999年03月05日 
JST資料番号: Y0914A  資料種別: 会議録 (C)
発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)

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