文献
J-GLOBAL ID:200902104886277255
整理番号:96A0178827
UHP(超高清浄度)供給系の乾燥化へのベーキングの効果:数値シミュレーションにより実験室規模から産業規模に
The Effect of Baking on the Dry Down of UHP Distribution Systems: From Laboratory to Industrial Scale via Numerical Simulation.
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著者 (3件):
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資料名:
巻:
41st
号:
Symposium on On-Line Monitoring ...
ページ:
557-563
発行年:
1995年
JST資料番号:
D0673A
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)
抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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ベーキングは,ガス純度を低下させる水分をガス供給系から除去す...
シソーラス用語:
シソーラス用語/準シソーラス用語
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分類 (1件):
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固体デバイス製造技術一般
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