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J-GLOBAL ID:200902104886277255   整理番号:96A0178827

UHP(超高清浄度)供給系の乾燥化へのベーキングの効果:数値シミュレーションにより実験室規模から産業規模に

The Effect of Baking on the Dry Down of UHP Distribution Systems: From Laboratory to Industrial Scale via Numerical Simulation.
著者 (3件):
資料名:
巻: 41st  号: Symposium on On-Line Monitoring ...  ページ: 557-563  発行年: 1995年 
JST資料番号: D0673A  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
抄録/ポイント:
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ベーキングは,ガス純度を低下させる水分をガス供給系から除去す...
シソーラス用語:
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分類 (1件):
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固体デバイス製造技術一般 

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