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J-GLOBAL ID：200902104893925181   整理番号：96A0169238

走査プローブ顕微鏡によるナノ構造の作製

Fabrication of nanostructures using scanning probe microscopes.
著者 (6件)：
HOSAKA S

HOSAKA S について

(Hitachi Ltd., Tokyo, JPN)

Hitachi Ltd., Tokyo, JPN について

, 
HOSOKI S

HOSOKI S について

(Hitachi Ltd., Tokyo, JPN)

Hitachi Ltd., Tokyo, JPN について

, 
HASEGAWA T

HASEGAWA T について

(Hitachi Ltd., Tokyo, JPN)

Hitachi Ltd., Tokyo, JPN について

, 
KOYANAGI H

KOYANAGI H について

(Hitachi Ltd., Tokyo, JPN)

Hitachi Ltd., Tokyo, JPN について

, 
SHINTANI T

SHINTANI T について

(Hitachi Ltd., Tokyo, JPN)

Hitachi Ltd., Tokyo, JPN について

, 
MIYAMOTO M

MIYAMOTO M について

(Hitachi Ltd., Tokyo, JPN)

Hitachi Ltd., Tokyo, JPN について


資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures  (Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures)

Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures について


巻： 13  号： 6  ページ： 2813-2818  発行年： 1995年11月 
JST資料番号： E0974A  ISSN： 1071-1023  CODEN： JVTBD9  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)
抄録/ポイント：
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走査型トンネル顕微鏡,原子間力顕微鏡そして走査型近接場光学顕...
シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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走査型トンネル顕微鏡

走査型トンネル顕微鏡 について

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原子操作

原子操作 について


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分類 (2件)：
分類
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顕微鏡法 
(BK01040E)

顕微鏡法 について

,  固体の表面構造一般 
(BK15010E)

固体の表面構造一般 について

タイトルに関連する用語 (3件)：
タイトルに関連する用語
J-GLOBALで独自に切り出した文献タイトルの用語をもとにしたキーワードです
走査プローブ顕微鏡

走査プローブ顕微鏡 について

, 
ナノ構造

ナノ構造 について

, 
作製

作製 について


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