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J-GLOBAL ID：200902105785297189   整理番号：02A0435855

パルスレーザー堆積法によるB-C-N系薄膜の合成

Synthesis of B-C-N Thin Films by Pulsed Laser Deposition.
著者 (2件)：
青井芳史

青井芳史 について

(龍谷大 理工)

龍谷大 理工 について

, 
上条栄治

上条栄治 について

(龍谷大 理工)

龍谷大 理工 について


資料名：
真空  (Journal of the Vacuum Society of Japan)

真空 について


巻： 45  号： 3  ページ： 219-222  発行年： 2002年03月20日 
JST資料番号： G0194A  ISSN： 0559-8516  CODEN： SHINA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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窒素ラジカルビーム照射を併用したパルスレーザ堆積法により,タ...
シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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炭化ホウ素

炭化ホウ素 について

,...
準シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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レーザフルエンス

レーザフルエンス について


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分類 (1件)：
分類
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その他の無機化合物の薄膜 
(BK14060A)

その他の無機化合物の薄膜 について

タイトルに関連する用語 (2件)：
タイトルに関連する用語
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パルスレーザー堆積法

パルスレーザー堆積法 について

, 
薄膜

薄膜 について


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