NTT LSI Lab., Kanagawa, JPN について
OZAWA A について
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YOSHIHARA H について
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Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures について
サブミクロン加工 について
プラズマ応用 について
X線技術 について
固体デバイス製造技術一般 について
X線マスク について
吸収体 について
タンタル について
電子サイクロトロン共鳴 について