6H-SiC表面の化学的蒸気クリーニング

KING S W; KERN R S; BENJAMIN M C; BARNAK J P; NEMANICH R J; DAVIS R F

文献

J-GLOBAL ID：200902106205653257 整理番号：99A0979377

6H-SiC表面の化学的蒸気クリーニング

Chemical Vapor Cleaning of 6H-SiC Surfaces.

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巻： 146 号： 9 ページ： 3448-3454 発行年： 1999年09月
JST資料番号： C0285A ISSN： 1945-7111 CODEN： JESOAN 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

SiCおよびIII-窒化物皮膜のエピタキシャル成長に適する6...

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半導体の表面構造 , 固体デバイス製造技術一般

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