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J-GLOBAL ID：200902106212829891   整理番号：98A0005086

AlGaAs合金の選択湿式酸化の発展

Advances in Selective Wet Oxidation of AlGaAs Alloys.

著者 (9件)： CHOQUETTE K D (Sandia National Lab., NM, USA) ,  GEIB K M (Sandia National Lab., NM, USA) ,  ASHBY C I H (Sandia National Lab., NM, USA) ,  TWESTEN R D (Sandia National Lab., NM, USA) ,  BLUM O (Sandia National Lab., NM, USA) ,  HOU H Q (Sandia National Lab., NM, USA) ,  FOLLSTAEDT D M (Sandia National Lab., NM, USA) ,  HAMMONS B E (Sandia National Lab., NM, USA) ,  HULL R (Univ. Virginia, VA, USA)
資料名： IEEE Journal of Selected Topics in Quantum Electronics  (IEEE Journal of Selected Topics in Quantum Electronics)
巻： 3  号： 3  ページ： 916-926  発行年： 1997年06月 
JST資料番号： W0734A  ISSN： 1077-260X  CODEN： IJSQEN  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 湿式酸化を用いてAlGaAs層から埋込酸化転換させる方法の,...

シソーラス用語： ヒ化ガリウムアルミニウム ,...
準シソーラス用語： VCSEL

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分類 (1件)： 半導体薄膜  (BK14040E)

タイトルに関連する用語 (4件)： AlGaAs ,  合金 ,  湿式酸化 ,  発展