多層誘電体コーティングの分光偏光解析法

文献

J-GLOBAL ID：200902106803884689 整理番号：01A0318258

Spectroscopic ellipsometry of multilayer dielectric coatings.

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資料名：
巻： 60 号： 4 ページ： 419-424 発行年： 2001年03月
JST資料番号： E0347A ISSN： 0042-207X 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：イギリス (GBR) 言語：英語 (EN)

電子ビーム蒸着した多層誘電体コーティングの特性を位相変調分光...

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光デバイス一般 , 光物性一般 , 酸化物薄膜

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