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J-GLOBAL ID：200902106856181930   整理番号：99A1015964

スプレー熱分解(SPD)法によるTiO₂薄膜の形成

TiO₂ Thin Film Synthesis by a Spray Pyrolysis Deposition.

著者 (4件)： 奥谷昌之 (静岡大) ,  六鹿克也 (静岡大) ,  PROKUDINA N A (静岡大) ,  金子正治 (静岡大)
資料名： 日本セラミックス協会秋季シンポジウム講演予稿集  (Abstracts. Fall Meeting of the Ceramic Society of Japan)
巻： 12th  ページ： 312  発行年： 1999年10月06日 
JST資料番号： L2240A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 四塩化チタン,チタンテトライソプロポキシド(TPT)およびチ...

シソーラス用語： *酸化チタン ,...

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分類 (2件)： セラミック・陶磁器の製造  (YC03020V) ,  酸化物薄膜  (BK14050P)

物質索引 (2件)： トリエタノールアミン ,  アセチルアセトン

タイトルに関連する用語 (5件)： スプレー熱分解 ,  SPD ,  法 ,  TiO2 ,  薄膜