ポリテトラフルオロエチレンのRfマグネトロンスパッタリングによるSi(100)表面上でのフルオロポリマ膜の蒸着

ZHANG Y; YANG G H; KANG E T; NEOH K G; HUANG W; HUAN A C H; WU S Y

文献

J-GLOBAL ID：200902107141889398 整理番号：02A0680182

ポリテトラフルオロエチレンのRfマグネトロンスパッタリングによるSi(100)表面上でのフルオロポリマ膜の蒸着

Deposition of Fluoropolymer Films on Si(100) Surfaces by Rf Magnetron Sputtering of Poly(tetrafluoroethylene).

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巻： 18 号： 16 ページ： 6373-6380 発行年： 2002年08月06日
JST資料番号： A0231B ISSN： 0743-7463 CODEN： LANGD5 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

ポリテトラフルオロエチレンターゲット上でAr,CF<sub>...

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高分子固体のその他の性質 , 有機化合物の薄膜

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