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J-GLOBAL ID:200902107279999640   整理番号:99A0413350

応力-誘起曲げによる低電圧マイクロ加工光スイッチ

A low voltage micromachined optical switch by stress-induced bending.
著者 (3件):
資料名:
巻: 12th  ページ: 424-428  発行年: 1999年 
JST資料番号: W0377A  ISSN: 1084-6999  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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分類 (2件):
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その他の光伝送素子  ,  固体デバイス製造技術一般 

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