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J-GLOBAL ID：200902107279999640   整理番号：99A0413350

応力-誘起曲げによる低電圧マイクロ加工光スイッチ

A low voltage micromachined optical switch by stress-induced bending.

著者 (3件)： CHEN R T (Lucas Varity Novasensor, CA) ,  NGUYEN H (Univ. California at Los Angeles, CA) ,  WU M C (Univ. California at Los Angeles, CA)
資料名： Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems  (Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems)
巻： 12th  ページ： 424-428  発行年： 1999年 
JST資料番号： W0377A  ISSN： 1084-6999  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 光通信に使うため,極めて低電圧で動作する静電駆動の2×2ファ...

シソーラス用語： *光スイッチ ,...
準シソーラス用語： マイクロミラー ,...

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分類 (2件)： その他の光伝送素子  (BD06040S) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (6件)： 応力 ,  誘起 ,  曲げ ,  低電圧 ,  マイクロ加工 ,  光スイッチ