混合過程で堆積させたジルコニウム酸チタン酸鉛(PZT)薄膜の調製および応用  ゾル-ゲル法およびレーザアブレーション

文献

J-GLOBAL ID：200902107456324666 整理番号：03A0050094

混合過程で堆積させたジルコニウム酸チタン酸鉛(PZT)薄膜の調製および応用ゾル-ゲル法およびレーザアブレーション

Preparation and Application of Lead Zirconate Titanate (PZT) Films Deposited by Hybrid Process: Sol-Gel Method and Laser Ablation.

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資料名：
巻： 41 号： 11B ページ： 6664-6668 発行年： 2002年11月30日
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：日本 (JPN) 言語：英語 (EN)

副題2方法の特色(高品質と高速)を組み合わせて,PZT(11...

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強誘電体,反強誘電体,強弾性 , 酸化物薄膜 , 固体デバイス製造技術一般

引用文献 (16件)：

1) R. Maeda, Z. J. Wang, J. Chu, J. Akedo, M. Ichiki and S. Yonekubo: Jpn. J. Appl. Phys. 37 (1999) 7116.
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