研究者
J-GLOBAL ID：200901090954815088
更新日: 2022年09月09日
前田 龍太郎
マエダ リュウタロウ | Maeda Ryutaro
所属機関・部署：
独立行政法人産業技術総合研究所 集積マイクロシステム研究センター
独立行政法人産業技術総合研究所 集積マイクロシステム研究センター について
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ホームページURL (1件)：
http://www.aist.go.jp/RESEARCHERDB/cgi-bin/worker_detail.cgi?call=namae&rw_id=R90451526
研究分野 (4件)：
材料加工、組織制御
, 電子デバイス、電子機器
, 加工学、生産工学
, 薄膜、表面界面物性
研究キーワード (1件)：
微細加工 強誘電体 アクチュエータ
MISC (103件)：
Sung Won Youn, Masaharu Takahashi, Hiroshi Goto, Ryutaro Maeda. A study on focused ion beam milling of glassy carbon molds for the thermal imprinting of quartz and borosilicate glasses. JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING. 2006. 16. 12. 2576-2584
Jian Lu, Takeshi Kobayashi, Yi Zhang, Ryutaro Maeda, Takashi Mihara. Wafer scale lead zirconate titanate film preparation by sol-gel method using stress balance layer. THIN SOLID FILMS. 2006. 515. 4. 1506-1510
M. M. R. Howlader, S. Suehara, H. Takagi, T. H. Kim, R. Maeda, T. Suga. Room-temperature microfluidics packaging using sequential plasma activation process. IEEE TRANSACTIONS ON ADVANCED PACKAGING. 2006. 29. 3. 448-456
S. W. Youn, M. Takahashi, H. Goto, T. Kobayashi, R. Maeda. The effect of heat-treatment conditions on mechanical and morphological properties of a FIB-milled glassy carbon mold with micro patterns. JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING. 2006. 16. 7. 1277-1284
Hideki Takagi, Ryutaro Maeda. Direct bonding of two crystal substrates at room temperature by Ar-beam surface activation. JOURNAL OF CRYSTAL GROWTH. 2006. 292. 2. 429-432
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所属学会 (4件)：
エレクトロニクス実装学会
, 金属学会
, 電気学会
, 精密工学会
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