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J-GLOBAL ID：200902107961608512   整理番号：93A0320666

プラズマエッチングのコンピュータシミュレーション 計算(非平衡)プラズマ物理からのアプローチ

Computer Simulation of Plasma Etching. An Approach by Computer-aided Nonequilibrium Plasma Physics.

著者 (2件)： 真壁利明 (慶応大 理工) ,  中野誠彦 (慶応大 理工)
資料名： プラズマ・核融合学会誌  (Journal of Plasma and Fusion Research)
巻： 69  号： 1  ページ： 15-26  発行年： 1993年01月 
JST資料番号： G0114A  ISSN： 0918-7928  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： HClガス中での非平衡RF放電中のドライエッチング過程を緩和...

シソーラス用語： アニオン ,...
準シソーラス用語： プラズマプロセシング ,...

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分類 (1件)： プラズマ応用  (BJ02110K)

タイトルに関連する用語 (5件)： プラズマエッチング ,  コンピュータシミュレーション ,  計算 ,  非平衡 ,  プラズマ物理