In situ ellipsometric study of the influence of powder formation on the initial growth of glow discharge a-Si:H.

文献

J-GLOBAL ID：200902108412498795 整理番号：93A0897927

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巻： 233 号： 1/2 ページ： 297-300 発行年： 1993年10月12日
JST資料番号： B0899A ISSN： 0040-6090 資料種別：逐次刊行物 (A)
発行国：オランダ (NLD) 言語：英語 (EN)

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