反応性イオンビームスパッタで形成したZr-N膜に対するイオン種の影響

文献

J-GLOBAL ID：200902108418803190 整理番号：93A0277718

Effects of Ion Species on Reactive-Ion-Beam-Sputtered Zr-N Films.

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資料名：
巻： 32 号： 1A/B ページ： L113-L115 発行年： 1993年01月15日
JST資料番号： F0599B ISSN： 0021-4922 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：短報発行国：日本 (JPN) 言語：英語 (EN)

ZrターゲットのスパッタリングにArイオンまたは窒素イオンを...

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その他の無機化合物の薄膜

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