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J-GLOBAL ID：200902108870136975   整理番号：95A0210006

微細加工した空気結合コンデンサ形変換器の設計と特性評価

The Design and Characterization of Micromachined Air-Coupled Capacitance Transducers.

著者 (4件)： SCHINDEL D W (Queen’s Univ., Ontario, CAN) ,  HUTCHINS D A (Univ. Warwick, Coventry, GBR) ,  ZOU L (Queen’s Univ., Ontario, CAN) ,  SAYER M (Queen’s Univ., Ontario, CAN)
資料名： IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control  (IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control)
巻： 42  号： 1  ページ： 42-50  発行年： 1995年01月 
JST資料番号： H0369A  ISSN： 0885-3010  CODEN： ITUCER  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： シリコン板を裏板とした空気結合コンデンサ形変換器を製作した。...

シソーラス用語： 超音波変換器 ,...

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分類 (1件)： 音響変換器,その他の機器  (BB03060N)

タイトルに関連する用語 (5件)： 微細加工 ,  結合コンデンサ ,  変換器 ,  設計 ,  特性評価