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J-GLOBAL ID：200902109119995039   整理番号：01A0982319

磁気中性ループ放電プラズマ中の電子温度及び密度分布の実験及び数値分析

Experimental and numerical analyses of electron temperature and density distributions in a magnetic neutral loop discharge plasma.

著者 (5件)： OKRAKU-YIRENKYI Y (Miyazaki Univ., Miyazaki, JPN) ,  SUNG Y-M (Miyazaki Univ., Miyazaki, JPN) ,  OTSUBO M (Miyazaki Univ., Miyazaki, JPN) ,  HONDA C (Miyazaki Univ., Miyazaki, JPN) ,  SAKODA T (Sojo Univ., Kumamoto, JPN)
資料名： Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films  (Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻： 19  号： 5  ページ： 2590-2595  発行年： 2001年09月 
JST資料番号： C0789B  ISSN： 0734-2101  CODEN： JVTAD6  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： プラズマ構造とそのプロセシングへの応用を検討するために,中性...

シソーラス用語： *磁場閉込め ,...
準シソーラス用語： プラズマプロセシング ,...

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分類 (1件)： プラズマ診断  (BJ02090L)

タイトルに関連する用語 (8件)： 磁気 ,  中性 ,  ループ ,  放電プラズマ ,  電子温度 ,  密度分布 ,  実験 ,  数値分析