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J-GLOBAL ID：200902109160807125   整理番号：03A0093757

薄膜誘電体キャラクタリゼーションのための二重変調示差THz-TDS

Double modulated differential THz-TDS for thin film dielectric characterization.

著者 (6件)： MICKAN S P (Univ. Adelaide, SA, AUS) ,  LEE K-S (Rensselaer Polytechnic Inst., NY, USA) ,  LU T-M (Rensselaer Polytechnic Inst., NY, USA) ,  MUNCH J (Univ. Adelaide, SA, AUS) ,  ABBOTT D (Univ. Adelaide, SA, AUS) ,  ZHANG X-C (Rensselaer Polytechnic Inst., NY, USA)
資料名： Microelectronics Journal  (Microelectronics Journal)
巻： 33  号： 12  ページ： 1033-1042  発行年： 2002年12月 
JST資料番号： A0186A  ISSN： 0026-2692  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： テラヘルツ示差タイムドメイン分光法(DTDS)は,誘電体薄膜...

シソーラス用語： *誘電体薄膜 ,...

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分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (5件)： 薄膜 ,  誘電体 ,  キャラクタリゼーション ,  変調 ,  THz-TDS