電子サイクロトロン共鳴マイクロ波プラズマCVDにより堆積したダイヤモンド状炭素/窒素化ダイヤモンド状炭素多層膜の破壊強さの改善

QI J; LAI K H; BELLO I; LEE C S; LEE S T; LUO J B; WEN S Z

文献

J-GLOBAL ID：200902109431650723 整理番号：01A0238103

電子サイクロトロン共鳴マイクロ波プラズマCVDにより堆積したダイヤモンド状炭素/窒素化ダイヤモンド状炭素多層膜の破壊強さの改善

Fracture resistance enhancement of diamond-like carbon/nitrogenated diamond-like carbon multilayer deposited by electron cyclotron resonance microwave plasma chemical vapor deposition.

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資料名：
巻： 19 号： 1 ページ： 130-135 発行年： 2001年01月
JST資料番号： C0789B ISSN： 0734-2101 CODEN： JVTAD6 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

全厚350nmのダイヤモンド状炭素(DLC),窒素化ダイヤモ...

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その他の無機化合物の薄膜 , 固体の機械的性質一般

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