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J-GLOBAL ID：200902109732641932   整理番号：98A0660162

アルゴン-シラン-メタンの低圧高周波放電で発生したSiC:Hの超微粉末の合成とキャラクタリゼーション

Synthesis and characterization of SiC:H ultrafine powder generated in an argon-silane-methane low-pressure radio-frequency discharge.

著者 (3件)： VIVET F (Univ. Orleans, Orleans, FRA) ,  BOUCHOULE A (Univ. Orleans, Orleans, FRA) ,  BOUFENDI L (Univ. Orleans, Orleans, FRA)
資料名： Journal of Applied Physics  (Journal of Applied Physics)
巻： 83  号： 12  ページ： 7474-7481  発行年： 1998年06月15日 
JST資料番号： C0266A  ISSN： 0021-8979  CODEN： JAPIAU  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 微粒子プラズマ反応装置の特徴はサブミクロンレベルで処理された...

シソーラス用語： *プラズマ合成 ,...
準シソーラス用語： FTIRスペクトル ,...

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分類 (1件)： プラズマ応用  (BJ02110K)

タイトルに関連する用語 (8件)： アルゴン ,  シラン ,  メタン ,  低圧 ,  高周波放電 ,  SiC ,  微粉末 ,  キャラクタリゼーション