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J-GLOBAL ID：200902110124995550   整理番号：94A0079170

AFM studies of surface roughness of borophosphosilicate glass(BPSG) films and their impact on defect detection capability for sub micron VLSI technology.

著者 (7件)： ROJHANTALAB H (Intel Corp., OR) ,  MOINPOUR M (Intel Corp., CA) ,  PETER N (Intel Corp., OR) ,  DASS M L A (Intel Corp., CA) ,  HOUGH W (Intel Corp., OR) ,  NATTER R (Intel Corp., OR) ,  MOGHADAM F (Intel Corp., CA)
資料名： Evolution of Surface and Thin Film Microstructure  (Evolution of Surface and Thin Film Microstructure)
ページ： 147-151  発行年： 1993年 
JST資料番号： K19930662  ISBN： 1-55899-175-1  資料種別： 会議録 (C)
発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

タイトルに関連する用語 (4件)： AFM ,  BPSG ,  ImPACT ,  VLSI